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　主要特点

• 所有接触材料面使用SUS304 #400抛光处理，搭载高密度过滤器，保持高洁净度。
• 不与外部空气接触的密闭结构，以循环方式实现高效率干燥。
• 搭载小型无热干燥器，露点低至-50℃td。
• 配有氮气主入口，可选择外接氮气干燥或除湿空气干燥。